半導(dǎo)體及太陽能薄膜工藝會(huì)運(yùn)用到超高純硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化鎢WF6、高純氨NH3等特氣，這些氣體具有易燃、劇毒、強(qiáng)腐蝕等特性，但卻是精細(xì)半導(dǎo)體電子元器件、新能源光電產(chǎn)品制造的必不行少的重要原料。生產(chǎn)中若產(chǎn)生氣體泄漏，將會(huì)構(gòu)成十分嚴(yán)重的產(chǎn)品質(zhì)量和人身傷亡事故。為保證安全，此類高純特氣的運(yùn)送管道選用不銹鋼雙層管道。該管道施工時(shí)，對作業(yè)環(huán)境潔凈度、管道表里管材的潔凈度、焊接和設(shè)備質(zhì)量的要求都十分高。本篇就超高純特氣雙層管道的施工提出幾點(diǎn)主張供同行參閱。2.工藝原理 選用水平15°歪斜擺放姿態(tài)進(jìn)行加工，順管內(nèi)介質(zhì)流向高純氮?dú)猓?9.9999%）進(jìn)行吹掃，不銹鋼繃簧填充雙層管夾層后用專用彎管設(shè)備進(jìn)行彎管加工，雙層管道表里充純氬（99.9999%）維護(hù)的全主動(dòng)軌道氬弧焊銜接和柔性金屬墊片端面密封銜接，結(jié)合氦氣檢漏的工藝原理，保證表里層管道潔凈度、密閉性、彎管質(zhì)量以及管道焊接設(shè)備質(zhì)量。3 加工設(shè)備操作要害3.1 潔凈區(qū)域操控 現(xiàn)場設(shè)置三段預(yù)制加工潔凈區(qū)域，樹立臨時(shí)潔凈室，要求凈化等級不低于9級，保證管件加工的潔凈度，進(jìn)入潔凈室的人員有必要穿戴潔服、潔凈帽、潔凈鞋、潔凈手套。

3.2管道加工3.2.1管口加工 管口的加工是本施工技能的要害點(diǎn)之一，管道切開、預(yù)制均在潔凈環(huán)境進(jìn)行，一起保證管道切開前外表無有害痕跡、破損。管道開封前應(yīng)做好管內(nèi)沖氮的準(zhǔn)備工作。管道在取掉兩層塑料外包裝后，要輕輕的取下兩頭的塑料密封套，并立即充氮，防止空氣污染。管道切開時(shí)運(yùn)用不銹鋼專用切開器緩慢進(jìn)行切開，操作時(shí)堅(jiān)持切面直度(90°±0.5)。管道水平15°橫放固定歪斜擺放姿態(tài)進(jìn)行切開及端面處理，并順介質(zhì)下賤方向沖放高純氮?dú)?，防止切屑進(jìn)入管內(nèi)。切開后選用端面處理器進(jìn)行端面處理，銑去毛刺；處理過程中，保證端面朝下(一向堅(jiān)持端面朝下)，處理后輕輕抖動(dòng)消除切屑；加工后使切面朝下，從上方擊打5次，然后再次順管內(nèi)介質(zhì)流用高純氮?dú)鉀_吹，切開面坐落氮?dú)庀沦v方向。切開后和端面處理后如管上附有切屑或其他雜質(zhì)，用無塵布沾異丙醇擦試干凈，無塵布運(yùn)用應(yīng)遵循“一次擦”的原則，不能重復(fù)運(yùn)用。

3.2.2 彎管加工 慣例雙層管彎頭需定做，定做制品成本高，而且質(zhì)量不易得到保證。施工中，可通過規(guī)劃運(yùn)用彎管設(shè)備，現(xiàn)場制造彎頭，解決此加工問題。在雙層管道彎管時(shí)，于表里管間套不銹鋼繃簧圈，作為表里管傳力物，保證彎管過程中表里管的真圓度，使彎管質(zhì)量達(dá)到要求。直管段外層管亦選用繃簧圈支墊，保證雙層管夾層空間距離，起到雙層管維護(hù)效果。彎管時(shí)不行取開管道兩頭的封頭，彎頭成型后視點(diǎn)偏差不大于5°。

3.3.2 主動(dòng)焊接施工 半制品和制品的維護(hù)措施應(yīng)及時(shí)有用，加工完結(jié)或焊接完結(jié)后及時(shí)將管子兩頭密封。焊接管子對口有必要為正方并緊密銜接，在對口位置所答應(yīng)的圓角和倒為壁厚的十分之一，銜接口需在鎢極的中心位置。焊接時(shí)，按要求進(jìn)行內(nèi)充氬維護(hù)，操控氬氣流量巨細(xì)。焊工施焊時(shí)，要求氬弧焊機(jī)焊接時(shí)電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)堅(jiān)持均勻共同。焊接完結(jié)后，鋼絲刷刷去焊接區(qū)外外表的氧化膜。見圖3.3。

3.3 管道焊接3.3.1 主動(dòng)焊接試樣制造 根據(jù)焊接工藝鑒定和焊接工藝規(guī)程，嚴(yán)格焊接操作。 為加強(qiáng)焊接質(zhì)量的辦理，每天正式實(shí)施焊接工作前，焊工須對每臺(tái)焊機(jī)所焊標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行樣本制造，查看主動(dòng)焊接機(jī)的工況及作業(yè)人員工藝水平，保證焊接質(zhì)量，樣本通過后方可進(jìn)行正式焊接操作。在每天焊接結(jié)束前亦制造焊接試樣，所有焊接試樣需妥善保存，作為質(zhì)量檢驗(yàn)根據(jù)。3.3.2 主動(dòng)焊接施工 半制品和制品的維護(hù)措施應(yīng)及時(shí)有用，加工完結(jié)或焊接完結(jié)后及時(shí)將管子兩頭密封。焊接管子對口有必要為正方并緊密銜接，在對口位置所答應(yīng)的圓角和倒角為壁厚的十分之一，銜接口需在鎢極的中心位置。焊接時(shí)，按要求進(jìn)行內(nèi)充氬維護(hù)，操控氬氣流量巨細(xì)。焊工施焊時(shí)，要求氬弧焊機(jī)焊接時(shí)電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)堅(jiān)持均勻共同。焊接完結(jié)后，鋼絲刷刷去焊接區(qū)外外表的氧化膜。見圖3.3。

3.4 管道與配件及設(shè)備銜接設(shè)備 對于運(yùn)送易燃、劇毒特殊氣體的雙層管道，其與閥門、氣表及設(shè)備銜接選用金屬墊片面密封接頭（VCR）設(shè)備，金屬墊片選用柔性鎳合金墊片，保證密封嚴(yán)密。

3.5 管道設(shè)備 雙層管道焊接碰頭最終接口處，選用增加結(jié)尾滑套的設(shè)備方式在三層管道接頭處完成管道密封，從而使外層套管構(gòu)成一個(gè)全體。

在超高純特氣雙層管道的施工中，選用水平15°歪斜擺放姿態(tài)進(jìn)行加工，順管內(nèi)介質(zhì)流向高純氮?dú)獯祾?，不銹鋼繃簧填充雙層管夾層后用專用彎管設(shè)備進(jìn)行彎管加工，雙層管道表里充純氬維護(hù)的全主動(dòng)軌道氬弧焊銜接和柔性金屬墊片端面密封銜接結(jié)合氦氣檢漏的施工技能，可保證雙層管道表里層管道潔凈度、密閉性、彎管質(zhì)量以及管道焊接設(shè)備質(zhì)量。對體系建成后運(yùn)行中的人員安全和產(chǎn)品質(zhì)量起到了很好的根底保障效果。